样品制备
样品制备在透射电子显微分析技术中扮演着重要角色。透射电镜工作的前提是样品能够透过电子束，因此样品厚度应控制在大约100~200纳米。此外，样品必须能代表所分析材料的特点，制备过程中不应改变这些特点。透射电镜样品制备是一项广泛的课题，具体方法的选择取决于材料种类和所需信息。
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间接样品制备
间接样品制备包括复型技术，其中二级复型可用于现场采样而不会破坏原始样品。萃取复型也是一种半直接样品，因为它可以从样品表面提取颗粒并粘附在复型膜上，从而避免了基体的干扰。
直接样品制备
直接样品制备通常包括四个步骤：初减薄、圆片切取、预减薄和终减薄。初减薄可以通过多种方法实现，如电火花线切割、轧制和解理。圆片切取可以选择小型冲床、电火花切割、超声波钻或研磨钻。预减薄通常使用机械研磨机，也可采用化学方法。终减薄常用的方法有电解抛光和离子轰击，前者适用于导电样品，后者适用于非导电样品。