李昕欣
李昕欣，男，汉族，1965年6月生于辽阳市，研究生学历，博士，研究员，博士生导师。他是国家“杰青”和中科院“百人计划”入选者，现任中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室研究员。
人物履历
1982年至1987年，李昕欣在清华大学就读并获得学士。1987年至1992年，他在机械部沈阳仪器仪表工艺研究所工作。1992年至1998年，他在复旦大学电子工程系半导体物理与半导体器件物理专业攻读研究生，获得硕士和博士学位。1998年至1999年，他在香港科技大学担任研究助理。1999年至2000年，他在新加坡南洋理工大学担任研究员。2000年至2001年，他在日本东北大学担任讲师。2001年起，李昕欣在中国科学院上海微系统与信息技术研究所担任研究员和博士生导师，并于2007年起担任传感技术国家重点实验室主任。
学术兼职
李昕欣在学术界担任多个重要职务，包括IEEE MEMS会议的TPC委员，Transducers会议的ESPC委员，以及多个SCI期刊的编委。他还兼任复旦大学和上海科技大学等校的兼职教授。
社会任职
李昕欣在社会服务方面也颇有建树，他是上海市第十五届委员会常委，第十六、十七届委员会副主委。他还曾担任上海市第十三届人大代表，上海市第十二、十三届政协常委，此外，他还是中国人民政治协商会议上海市第十四届委员会委员。
主要成就
李昕欣在微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器技术领域取得了显著成就，是国际知名的学者和国内的学术带头人之一。他已授权和受理专利100余项，其中20多项已授权转让给企业，为国家重要工程提供MEMS传感器产品技术，做出了突出贡献。他在国际重要SCI期刊上发表了约300篇论文，并在多个SCI国际期刊和《中国科学》等杂志发表了特约综述论文。他在IEEE IEDM、Transducers和IEEE MEMS等顶级国际会议上发表了近200篇论文，并受邀在这些会议上做大会plenary报告和邀请报告。
所获荣誉
李昕欣的科研成就得到了广泛认可，他获得了多项荣誉，包括2005年上海市科技进步一等奖（技术发明类），2006年上海市技术发明奖二等奖，2012年国家技术发明二等奖，2004年享受国务院特殊津贴，2006年获得第三届“上海市青年科技英才”称号和奖励，2007年获得国家杰出青年科学基金资助，2009年获全国百篇优秀博士论文指导教师奖励，2011年入选上海领军人才。
科研项目
（ 1 ） 基于智能化能量获取的自供能自主报警无线传感节点技术, 负责人, 国家任务, 2019-01--2023-12。
（ 2 ） 基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置, 负责人, 国家任务, 2016-01--2020-12。
（ 3 ） 功能纳米结构与物理化学性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 负责人, 国家任务, 2016-07--2021-07。
代表论文
（1） Dual resonator MEMS magnetometer based on self clocking sigma delta modulation, IEEE Sensors Journal, 2019, 通讯作者。
（2） In situ construction of metal-organic framework (MOF) UiO-66 film on Parylene-patterned resonant microcantilever for trace organophosphorus molecules detection, ANALYST, 2019, 通讯作者。
（3） 设计, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer, MICROMACHINES, 2019, 通讯作者。
（4） A frontSide Microfabricated 奈特·阿奇博尔德Size Thermopile Infrared Detector With High Sensitivity and Fast Response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 通讯作者。
（5） A front-side microfabricated tiny-size thermopile infrared detector with high sensitivity and fast response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 通讯作者。