林本坚

林本坚，出生于1942年，美国国家工程院院士，台湾“中央研究院”院士，台湾清华大学、台湾交通大学、台湾大学特聘讲座教授，清大—台积电联合研发中心主任。

1963年获得台湾大学电机工程学学系学士；1970年获得俄亥俄州立大学电机工程学系博士；2000年至2015年在台湾积体电路制造股份有限公司任资深处长、杰出科技院士和副总经理；2008年当选美国国家工程学院院士；2014年当选台湾“中央研究院”院士；2015年底从台积电退休。 2018年9月8日在第三届“未来科学大奖”中荣获三项大奖之一“数学与计算机科学奖”。

林本坚专注于半导体制程中的微影技术的研发，带领团队创造出许多领先全球的技术，包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技术。

人物经历

1942年，林本坚出生在越南，从小生长在越南西贡。

1959年，到台湾新竹高级中学读书。

1963年，获得台湾大学电机工程学学系学士。

1970年，获得俄亥俄州立大学电机工程学系博士。

1970年-1992年，在美国国际商用机器公司任研究员、研发经理、部经理、幕僚。

1992年-2000年，在美国领创公司任总经理。

2000年，回到中国台湾，加入了台湾积体电路制造股份有限公司。

2000年-2015年，在台积电任资深处长、杰出科技院士和副总经理。

2008年，当选美国国家工程学院院士。

2014年，成为第一位出身业界的台湾“中央研究院”院士。

2015年底，从台积电退休。

2016年起，任台湾清华大学特聘研究讲座教授。

个人生活

家庭生活

父母早先时候居住在香港，在抗战时期逃到相对安全的越南。林本坚便出生在那里。在越南，他一方面接受中国式的教育，另一方面因父亲曾是一所英文学校的校长，为他学习英文打下了扎实基础。他的妻子是黄修慧。

为人处世

林本坚是虔诚的基督教徒，待人和善，说话的时候语调总是慢慢地轻轻的，以前的同事和晚辈都称他“Burn爷爷”。但是，当面对自己的工作和研究时，这个和善的老先生就会无比坚定。

人生信条

诚信、正直、操守，还有反复强调的合作精神。

社会活动

公益活动

从台积电退休后，和妻子一同为俄亥俄州立大学母校创办助学基金，将未来大学大奖的100万美元奖金全数捐入基金会。

社会任职

主要成就

科研成就

林本坚一系列突破性的创新所开拓的浸润式微影（也称光刻）方法，革新了集成电路的制程，使先进半导体芯片的特征尺寸能持续缩减为细微纳米量级，在过去十五年以及可预见的未来，为建造最强大的计算和通信系统做出了关键贡献。2002年，林本坚发明了“浸润式微影技术”，彻底改变了集成电路的生产。这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中，用水代替空气以提高分辨率。当全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术时，林本坚创造性地以193纳米波长的光，通过水作为介质，将其缩短至134纳米。他通过各种国际研讨会说服同行使用该技术，由此继续将摩尔定律延续下去。

教学成就

教育理念

“技术上的困难都是纸上谈兵，要有晚上睡不着觉的信念去解决问题。”他勉励年轻人，做科研一定是享受科学乐趣的，“不要死犟，要会转弯，会求助，‘三个臭皮匠顶个诸葛亮’。”

荣誉表彰

人物评价

参考资料

林本坚 Burn J. Lin.中央研究院.2024-08-07

全球芯片竞争 他是唯一有原创发言权的华人科学家|林本坚|科研|通信.网易科技.2022-02-14

未来科学大奖得主共同发声:不忘初心 方得始终.央广网新闻.2024-08-07

改写半导体发展史 台积电前研发副总林本坚院士将任教清华电机.台湾清华大学.2024-08-07

未来科学大奖揭晓:台积电传奇林本坚获数学与计算机科学奖.澎湃新闻.2024-08-07

林本坚获2018未来科学大奖数学与计算机科学奖.网易.2024-08-07

2018未来科学数学与计算机科学奖揭晓:林本坚获奖.新浪科技.2024-08-07